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產(chǎn)品展示

標準型精密勻膠機

簡要描述:SC100-SE標準型精密勻膠機是一種小型、靈活和經(jīng)濟的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,它可以實現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備(track)的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性。

  • 產(chǎn)品型號:SC100-SE
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2017-11-22
  • 訪  問  量:1762
詳情介紹

產(chǎn)品介紹:

名  稱:高精密勻膠機

型  號:SC100-SE

原產(chǎn)地:美國,USA

應(yīng)  用:SC100-SE標準型精密勻膠機是一種小型、靈活和經(jīng)濟的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,它可以實現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備(track)的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性。

產(chǎn)品概述:

  SC100-SE標準型精密勻膠機是一種小型、靈活和經(jīng)濟的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,它可以實現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備(track)的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性。
  不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀;工業(yè)級別200瓦伺服電機系統(tǒng),采用與track設(shè)備相同設(shè)計和程序,使您的工藝更具有實際應(yīng)用意義;同類產(chǎn)品中的zui大達到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度,確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和*的可重復(fù)性。

性能參數(shù):

l  主機機箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清潔)

l  旋涂程序:zui多可存100組程序,每組100步,每個步驟可精確到0.1秒

l  轉(zhuǎn)動速度:0-10,000rpm(更高速可選)

l  旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載)

l  馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm

l  轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm

l  重復(fù)性< 1rpm

l  工藝時間設(shè)定: 0-3,000 sec/step

l  時間設(shè)置精度:0.1sec

l  支持wafer尺寸1cm-200mm(8”圓晶)

l  旋涂作業(yè)均勻性:< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量)

產(chǎn)品特點:

l  的內(nèi)部緊湊設(shè)計,縮小了設(shè)備的尺寸。

l  7"觸屏控制面板操作系統(tǒng),更方便操作。

l  on ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計可適合各種材料勻膠工藝。

l  標準配置轉(zhuǎn)速10000rpm,并可根據(jù)用戶需要進行定制。

l  采用工業(yè)級別伺服電機,電機設(shè)計避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部。

l  機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,*生銹,便于清洗。

l  排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計于載片臺之底部(以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性)。

l  透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

產(chǎn)品外型尺寸:
       433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標準設(shè)備結(jié)構(gòu)

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